九个技巧教你选择真空泵
2016-06-24 21:30:30
来源:本网
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选择真空泵时，需要注意下列事项：
1、 真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强的要求，如:真空镀膜要1x10-5mmHg的真空度 ，选用的真空泵的真空度至少要5x10-5mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2 、正确的选择真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为：10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为51x10-4~5x10-5mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-8mmHg下工作，但其工作压强应小于1x10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、 正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二级型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
6、 了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成份，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽，颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸汽气排到室外。
8、真空泵工作时产生的震动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防震动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用
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